島津場(chǎng)發(fā)射電子探針EPMA-8050G

島津場(chǎng)發(fā)射電子探針EPMA-8050G 開(kāi)創(chuàng)新紀(jì)元

——的空間分辨率與超高靈敏度的*結(jié)合

“The Grand EPMA” 誕生

搭載*場(chǎng)發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng)將島津EPMA分析性能發(fā)揮到致。

從SEM觀察條件到1μA量級(jí)，在各種束流條件下都擁有空間分辨率的*場(chǎng)發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng)。結(jié)合島津傳統(tǒng)的高性能X射線(xiàn)譜儀，將分析性能發(fā)揮至致。

當(dāng)之無(wú)愧的 “The Grand EPMA” ，高水準(zhǔn)的EPMA誕生！

[性能特點(diǎn)]

● 的空間分辨率

電子探針可達(dá)到的高級(jí)別的二次電子圖像分辨率3nm（加速電壓30kV），分析條件下的二次電子分辨率。

（加速電壓10kV時(shí)20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

● 大束流超高靈敏度分析

實(shí)現(xiàn)3.0μA（加速電壓30kV）的大束流。可超高靈敏度進(jìn)行超微量元素的面分析。并且全束流范圍無(wú)需更換物鏡光闌。

● 高性能X射線(xiàn)譜儀

秉承島津電子探針頗具優(yōu)勢(shì)的52.5°X射線(xiàn)取出角。采用4英寸羅蘭圓半徑的分光晶體兼顧高靈敏度與高分辨率。可同時(shí)搭載5通道高性能X射線(xiàn)譜儀。分析性能更勝*。

● 全部分析操作簡(jiǎn)單易懂

全部操作僅靠一個(gè)鼠標(biāo)就可進(jìn)行的*可操作性。追求「易懂」的人性化用戶(hù)界面。搭載導(dǎo)航模式，自動(dòng)指引直至生成報(bào)告。

◎?qū)崿F(xiàn)微區(qū)超高靈敏度分析的*技術(shù)

1 高亮度肖特基發(fā)射體

島津場(chǎng)發(fā)射電子槍采用的肖特基發(fā)射體比一般傳統(tǒng)SEM使用的發(fā)射體針尖直徑更

大，輸出更高。即可以保持其高亮度，還可提供高靈敏度分析*的穩(wěn)

定大電流。

2 EPMA電子光學(xué)系統(tǒng)

電子光學(xué)系統(tǒng)，聚光透鏡盡可能的接近電子槍一側(cè)，交叉點(diǎn)不是靠聚光透鏡

形成，而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上，具有獨(dú)立構(gòu)成與控制方式的可

變光闌透鏡來(lái)形成交叉點(diǎn)的（日本利：第4595778號(hào)）。簡(jiǎn)單的透鏡結(jié)

構(gòu)，既能獲得大束流，同時(shí)全部電流條件下設(shè)定合適的打開(kāi)角度，將電子

束壓縮到細(xì)。當(dāng)然是不需要更換物鏡光闌的。

3 超高真空排氣系統(tǒng)

電子槍室、中間室、分析腔體之間分別安裝有篩孔（orifice）間隔方式的2

級(jí)差動(dòng)排氣系統(tǒng)。中間室與分析腔體間的氣流孔做到小，以控制流入中

間室的氣體，使電子槍室始終保持著超高真空，確保發(fā)射體穩(wěn)定工作。

4 高靈敏度X射線(xiàn)譜儀

島津場(chǎng)發(fā)射電子探針多可同時(shí)搭載5通道兼顧高靈敏度與高分辨率的4英寸X射線(xiàn)譜儀。

52.5°的X射線(xiàn)取出角在提高了X射線(xiàn)信號(hào)的空間分辨率的同時(shí)，又可減小樣品對(duì)X射線(xiàn)

的吸收，實(shí)現(xiàn)高靈敏度的分析。