品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
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應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,電子 |
[性能特點]
● 的空間分辨率
電子探針可達到的級別的二次電子圖像分辨率3nm(加速電壓30kV),分析條件下的二次電子分辨率。
(加速電壓10kV時20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)
● 大束流超高靈敏度分析
實現(xiàn)3.0μA(加速電壓30kV)的大束流。可超高靈敏度進行超微量元素的面分析。并且全束流范圍無需更換物鏡光闌。
● 高性能X射線譜儀
秉承島津電子探針頗具優(yōu)勢的52.5°X射線取出角。采用4英寸羅蘭圓半徑的分光晶體兼顧高靈敏度與高分辨率??赏瑫r搭載5通道高性能X射線譜儀。分析性能更勝*。
● 全部分析操作簡單易懂
全部操作僅靠一個鼠標就可進行的*可操作性。追求「易懂」的人性化用戶界面。搭載導航模式,自動指引直至生成報告。
◎實現(xiàn)微區(qū)超高靈敏度分析的*技術
1 高亮度肖特基發(fā)射體
島津場發(fā)射電子槍采用的肖特基發(fā)射體比一般傳統(tǒng)SEM使用的發(fā)射體針尖直徑更
大,輸出更高。即可以保持其高亮度,還可提供高靈敏度分析*的穩(wěn)
定大電流。
2 EPMA電子光學系統(tǒng)
電子光學系統(tǒng),聚光透鏡盡可能的接近電子槍一側,交叉點不是靠聚光透鏡
形成,而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上,具有獨立構成與控制方式的可
變光闌透鏡來形成交叉點的(:第4595778號)。簡單的透鏡結
構,既能獲得大束流,同時全部電流條件下設定合適的打開角度,將電子
束壓縮到細。當然是不需要更換物鏡光闌的。
3 超高真空排氣系統(tǒng)
電子槍室、中間室、分析腔體之間分別安裝有篩孔(orifice)間隔方式的2
級差動排氣系統(tǒng)。中間室與分析腔體間的氣流孔做到小,以控制流入中
間室的氣體,使電子槍室始終保持著超高真空,確保發(fā)射體穩(wěn)定工作。
4 高靈敏度X射線譜儀
島津場發(fā)射電子探針多可同時搭載5通道兼顧高靈敏度與高分辨率的4英寸X射線譜儀。
52.5°的X射線取出角在提高了X射線信號的空間分辨率的同時,又可減小樣品對X射線
的吸收,實現(xiàn)高靈敏度的分析。
[應用舉例]
1. 島津場發(fā)射電子探針EPMA-8050G檢測:無鉛焊錫焊料中Ag與Cu的分布
對無鉛焊錫焊料中大量含有Ag的區(qū)域進行面分析的數(shù)據(jù)。(加速電壓:10kV;照射電流:20nA)
Ag的X射線像中顆粒形狀與BSE像(COMPO)的顆粒形狀*。直徑約0.1μm的Ag顆粒也清晰可辨(紅色虛線圈出)。同時可確認Cu顆粒的存在(黃色虛線圈出)。